低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生 电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。
低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。
低温等离子体技术工艺简单，吸附法要考虑吸附剂的定期 换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时混合污染物（有些情况还具有协同作用），不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备所以不仅能量，而且使设备维护费用也很低。
低温等离子体去除污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：
（1） 电场＋电子→ 电子
（2） 电子＋分子（或原子）→（受激原子、受激基团、游离基团） 活性基团
（3） 活性基团＋分子（原子）→生成物+热
（4） 活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，低温等离子设备电子 先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外， 电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子体技术在环境工程中的应用：
随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性废气也日渐增多。这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染。这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生大的危害，工业废气的无控制排放使性的大气环境日益恶化。低温等离子设备因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。低温等离子废气处理设备在此情况下应运而生。
